El tremendo impacto de los dispositivos electrónicos en nuestras vidas es el resultado de las mejoras continuas de los miles de millones de componentes nanoelectrónicos dentro de los circuitos integrados (CI). Sin embargo, los dispositivos semiconductores de ultraescala requieren un control nanométrico de muchos parámetros esenciales para su fabricación. A lo largo de los años, esto creó una fuerte alianza entre las técnicas de microscopía y la fabricación de circuitos integrados. Este libro revisa los últimos avances en dispositivos IC, con énfasis en el impacto de las técnicas de microscopía de fuerza atómica eléctrica (AFM) para su desarrollo. Se introducen los principios de operación de muchas técnicas y se describen los desafíos de metrología asociados. Combinando la experiencia de especialistas industriales e investigadores académicos, los capítulos están dedicados a varios métodos AFM y su impacto en el desarrollo de dispositivos nanoelectrónicos emergentes. El objetivo es presentar los principales métodos eléctricos de AFM, siguiendo el viaje que ha visto cambiar nuestras vidas por el advenimiento de los omnipresentes dispositivos nanoelectrónicos, y ha ampliado nuestra capacidad para detectar la materia en una escala que antes era inaccesible.
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